热解氮化硼（PBN）

热解氮化硼(PBN)产品技术类型属高性能电子陶瓷行业，是先进半导体材料的载体与耗材。该产品是在2000度温度下，通过化学气相沉积(CVD)技术而制得，其沉积过程宛如“落雪”，氮化硼的六角形小雪片，一片一片的平行地堆落在石墨模具基体材料上，达到一定厚度后，最终冷却脱模而制得。

该产品具有高纯度、耐腐蚀、气密性好、高温下不放气、耐酸、碱、盐及有机试剂，与大多数熔融金属及Ⅲ-V族化合物不反应等特点，同时具有很好的高温物理、化学性能，是当今半导体工程陶瓷领域中的高端产品，也是高科技领域中的前沿课题，是近二十年来发展最快、应用最为前沿的材料之一。

PBN产品

• 垂直梯度凝固法(VGF)工艺PBN坩埚，

• 液封提拉法（LEC）工艺PBN坩埚

• 立式和卧式布里奇曼工艺PBN坩埚，

• 分子束外延(MBE)工艺PBN坩埚

• 用于合成多晶材料的PBN舟皿

• MOCVD设备绝缘板及MBE设备用绝缘环

• 高温真空设备用PBN电绝缘套管

• 螺旋结构PBN行波管(TWT)。

PBN陶瓷一般性能

• 六方晶格层状结构

• 垂直于晶体基面的特殊性质

• 优异的结构和物理化学稳定性

• 各向异性结构

• 高热稳定性

• 不浸润

• 无毒